Soluciones de fijación de alta pureza para entornos UHV

La creciente demanda de precisión en la fabricación de semiconductores ha elevado los estándares técnicos de todos los componentes utilizados en procesos de vacío. En este contexto, Lindis presenta la gama especializada de tornillos NBK con diseño ventilado, desarrollados específicamente para minimizar el outgassing y asegurar la limpieza en entornos críticos.

¿Por qué es relevante la tornillería en cámaras de vacío?
En entornos como la litografía o el grabado por plasma, cualquier partícula o gas residual puede comprometer la integridad del proceso. Los tornillos convencionales, al no estar diseñados para condiciones de vacío, tienden a liberar gases atrapados entre las roscas o en su interior. Esta emisión, conocida como outgassing, se convierte en una fuente directa de contaminación.

Solución técnica: tornillos ventilados NBK
Los tornillos NBK distribuidos por Lindis incorporan:

• Canales de ventilación pasantes, que facilitan la expulsión del aire durante la evacuación del sistema.
• Acero inoxidable SUS316L, un material con bajo contenido en impurezas y excelente resistencia a la corrosión.
• Sometidos a tratamientos de limpieza en sala blanca y envasado controlado, para su uso inmediato en entornos ultralimpios.

Ventajas operativas para fabricantes de chips

• Aceleración del tiempo de evacuación en cámaras de vacío.
• Reducción de partículas no deseadas en procesos UHV.
• Fiabilidad en técnicas avanzadas como deposición por haces de electrones (EB-PVD), grabado iónico reactivo (RIE) o litografía EUV.

Aplicaciones típicas

• Sistemas de manipulación y transporte de wafers.
• Equipos de análisis de materiales en vacío.
• Cámaras de deposición y fotolitografía.
• Herramientas de metrología de precisión.

Una solución técnica respaldada por experiencia
Lindis ofrece asesoramiento técnico, suministro ágil y soporte especializado en tornillería de precisión. Como distribuidor autorizado de NBK, aporta soluciones fiables para las exigencias más estrictas de la industria microelectrónica.